知識(shí):轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)在潔凈室行業(yè)的應(yīng)用
1.引言
隨著科技的進(jìn)步和產(chǎn)品技術(shù)的不斷提升以及中國(guó)對(duì)外開放的深入
目前
2.濕度在半導(dǎo)體行業(yè)中的要求
半導(dǎo)體的生產(chǎn)工廠要在全年四季的氣候條件下
一般的
因此
,在*新的許多半導(dǎo)體廠房的空調(diào)系統(tǒng)開始使用新風(fēng)通過(guò)新風(fēng)機(jī)組(冷卻除濕)和轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)聯(lián)合處理濕度、溫度而后通過(guò)后空調(diào)機(jī)組處理的組合方式,達(dá)到室內(nèi)送風(fēng)溫、濕度要求,并取得了顯著收益。3.工程實(shí)例
一
、設(shè)計(jì)條件及要求:a、室內(nèi)要求:T=22±2℃
;RH=50±5%;TL=11.5℃;d=8g/kg;b
、潔凈級(jí)別:10K(級(jí));c
、體積:S=2000m2;H=2.8m;d
、工作人員:30名,車間無(wú)工藝濕負(fù)荷;e
、新風(fēng)量:9500m3/h;f
、送風(fēng)量:m3/hg、室外環(huán)境條件:T=35℃
二
a
、方案A:新風(fēng)機(jī)組(MAHU)+組合式空氣處理機(jī)組(AHU),其空氣處理過(guò)程如下:新風(fēng)過(guò)濾經(jīng)表冷處理后與房間回風(fēng)混合
,再經(jīng)表冷器處理到機(jī)器露點(diǎn)(TL=12℃)后再加熱至送風(fēng)溫度(T=18.5℃)后,統(tǒng)一送風(fēng)到車間。分析如下:由于車間內(nèi)部的露點(diǎn)溫度為11.5℃
,并且設(shè)計(jì)條件中車間內(nèi)無(wú)其他工藝濕負(fù)荷。根據(jù)這種條件,我們假定車間內(nèi)部沒有任何產(chǎn)濕量,則需要送風(fēng)露點(diǎn)和車間相同為11.5℃,這時(shí)對(duì)于新風(fēng)和回風(fēng)達(dá)到11.5℃露點(diǎn)所需要的冷量為:新風(fēng)冷負(fù)荷:9500*1.2*(101.2-32.2)/3600=162Kw;(新風(fēng)預(yù)冷至18℃
,95%)回風(fēng)冷負(fù)荷:*1.2*(44-33)/3600=440Kw
總計(jì):162+440=602Kw;
而在處理空氣露點(diǎn)溫度達(dá)到車間露點(diǎn)溫度后
,需要進(jìn)行加熱補(bǔ)償,以保證送風(fēng)溫度的要求,這時(shí)所需要的再熱量為:再熱負(fù)荷:*1.2*(39.8-33)/3600=272Kw
總能耗為:冷:602Kw.
熱:272Kw.
從上述分析和計(jì)算可得出
,能耗抵消為:272Kw但實(shí)際上
,車間內(nèi)部由于人員的工作,維護(hù)結(jié)構(gòu)的內(nèi)外的水蒸汽分壓力差以及車間門的開啟等因素,車間內(nèi)不可避免的存在濕負(fù)荷,這就要求送風(fēng)露點(diǎn)溫度應(yīng)略低于車間內(nèi)部露點(diǎn)溫度,這會(huì)導(dǎo)致更大的冷熱能耗抵消。一般的
,由于新風(fēng)的焓值非常高,無(wú)法通過(guò)新風(fēng)表冷器直接將新風(fēng)冷卻到11℃露點(diǎn)溫度。所以經(jīng)常采用新風(fēng)和回風(fēng)混合后,再表冷器處理的方法進(jìn)行操作。同時(shí),這種空調(diào)系統(tǒng)不僅要求在夏季可以同時(shí)滿足制冷(控溫和除濕)和供熱(滿足濕度要求)功能
;并要求在某些過(guò)渡季節(jié)甚至冬季同樣需要開啟制冷機(jī)組,目的僅僅是除濕(對(duì)新風(fēng)進(jìn)行降溫除濕)。而后再通過(guò)后加熱補(bǔ)償?shù)姆绞?div id="4qifd00" class="flower right">對(duì)于制冷機(jī)組,需要將空氣處理到11℃露點(diǎn)溫度
,因此要求冷水溫度一般為5~10℃。但在這種工況下,制冷機(jī)組的效率也往往會(huì)有所衰減,從而需要配置較大容量的制冷設(shè)備,引起初投資的增加。b.方案B:新風(fēng)機(jī)組(MAHU)+轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)組(Dehumidifier)+組合式空氣處理機(jī)組(AHU)
,其空氣處理過(guò)程如下:新風(fēng)過(guò)濾,經(jīng)過(guò)新風(fēng)表冷器
,一般處理到18℃露點(diǎn),之后經(jīng)過(guò)轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)進(jìn)行等焓除濕(空氣露點(diǎn)為4℃,d=5.2g/kg,T=42℃);除濕后的干熱空氣再和回風(fēng)混合后(T=23.5℃,d=7.9g/kg),通過(guò)后表冷器進(jìn)行干工況降溫處理到送風(fēng)溫度(18.5℃),送風(fēng)到車間。能耗為:新風(fēng)表冷冷負(fù)荷:9500*1.2*(101.2-50)/3600=162Kw
除濕機(jī)能耗:125Kw
后空調(diào)冷負(fù)荷:*1.2*1.005*(23.5-18.5)/3600=201Kw
總能耗為:冷:363Kw.
熱:125Kw.
c.方案比較:
除濕方式
傳統(tǒng)冷凍除濕+后加熱系統(tǒng)
轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)系統(tǒng)
新風(fēng)表冷能耗
162Kw
162Kw
后表冷器能耗
440Kw
201Kw
電加熱能耗
272Kw
125Kw
總能耗(折算為電能)
383.8Kw
193Kw
由上述分析和計(jì)算可得出
,使用轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)系統(tǒng)和傳統(tǒng)的冷凍除濕機(jī)+后加熱器方式,能耗節(jié)約為45%左右。同時(shí)4.轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合式除濕空調(diào)系統(tǒng)的特性
轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合除濕空調(diào)系統(tǒng)
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